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Componentes de alto vacío y ultra alto vacío

Fused silica viewports

Mirillas de sílice fusionado

IntroductionIntroducción
IntroductionIntroducción
Fused silica is an isotropic material with no crystal orientation. It has an almost flat transmission curve from UV to near IR with more than 90% transmission in the visible range.
Three qualities are offered:
UV grade (200nm to 2 μm)
DUV grade (200nm to 2 μm - high purity) and
EXCIMER grade (185nm to 2.2 μm).
General specification
Vacuum UHV
Leak rate < 2x 10-10 mbar.l.s-1
Temperature -100º C…200º C
Transmission > 90% in visible range
UV-grade quartz is offered for use with KF flanges. Other fused silica grades are available on request. Please contact the sales office for a quote.
El sílice fusionado es un material isotrópico sin orientación cristal. Tiene una curva de transmisión casa plana desde UV hasta cerca de IR con una transmisión de más del 90% en el rango visible.
Se ofrecen tres cualidades:
Grado UV (200 nm to 2 μm)
Grado DUV (200 nm to 2 μm) y
Grado EXCIMER (185 nm to 2.2 μm).
Especificaciones generales
Vacío UHV
Tasa de fuga < 2x 10-10 mbar.l.s-1
Temperatura -100º C…200º C
Transmisión > 90% en rango visible
UV-grado cuarzo se ofrece para el uso con bridas KF. Otros grados de sílice fusionado están disponibles a petición del cliente. Contacte con la oficina de ventas para obtener un presupuesto.
UV grade
Grado UV
UV grade
Grado UV
Parallelism < 30 arc sec
Surface finish 40/20 scratch/dig
Transmission > 90% at 250 nm
Usable range 200 nm…2000 nm
Inclusions Max 0.25 mm2/100 cm3 (class 2)
Isotropy 2D material
Homogenity Grade F
Paralelismo < 30 arc sec
Acabado de superficie 40/20 scratch/dig
Transmisión > 90% a 250 nm
Rango de uso 200 nm…2000 nm
Inclusiones Max 0,25 mm2/100 cm3 (clase 2)
Isotropía Material 2D
Homogeneidad Grado F
Sílice fusionado grado UV

Flange View diameter Part number
16 CF 16 110-VPQZ-C16-UV
40 CF 35 110-VPQZ-C40-UV
63 CF 68 110-VPQZ-C63-UV
100 CF 98 110-VPQZ-C100-UV
160 CF 137 110-VPQZ-C160-UV
200 CF 198 110-VPQZ-C200-UV
Brida Diametro de vista Código de pieza
16 CF 16 110-VPQZ-C16-UV
40 CF 35 110-VPQZ-C40-UV
63 CF 68 110-VPQZ-C63-UV
100 CF 98 110-VPQZ-C100-UV
160 CF 137 110-VPQZ-C160-UV
200 CF 198 110-VPQZ-C200-UV
DUV grade
Grado DUV
DUV grade
Grado DUV
Parallelism < 10 arc sec
Surface finish 20/10 scratch/dig
Transmission > 99.8% at 248 (internal) nm
Usable range 200 nm…2000 nm
Inclusions Max 0.03 mm2/100 cm3 (class 0)
Isotropy 3D material
Homogenity Grade A
Flatness λ/4 at 632 nm
Paralelismo < 10 arc sec
Acabado de superficie 20/10 scratch/dig
Transmisión > 99,8% a 248 nm (interno)
Rango de uso 200 nm…2000 nm
Inclusiones Max 0,03 mm2/100 cm3 (clase 0)
Isotropía Material 3D
Homogeneidad Grado A
Llanura λ/4 a 632 nm
Sílice fusionado grado DUV

Flange View diameter Part number
16 CF 16 110-VPQZ-C16-DUV
40 CF 35 110-VPQZ-C40-DUV
63 CF 68 110-VPQZ-C63-DUV
100 CF 98 110-VPQZ-C100-DUV
160 CF 137 110-VPQZ-C160-DUV
200 CF 198 110-VPQZ-C200-DUV
Brida Diametro de vista Código de pieza
16 CF 16 110-VPQZ-C16-DUV
40 CF 35 110-VPQZ-C40-DUV
63 CF 68 110-VPQZ-C63-DUV
100 CF 98 110-VPQZ-C100-DUV
160 CF 137 110-VPQZ-C160-DUV
200 CF 198 110-VPQZ-C200-DUV
Excimer
Excimer
Excimer grade
Grado Excimer
Designed for use with ArF based Excimer lasers (193 nm) a high quality fused silica (quartz) material is offered, which gives an internal transmission at this wavelength of more than 99.5%. These windows can also be used for other demanding applications in the UV region.
Diseñado para su uso con laser Excimer basados en ArF (193 nm), se ofrece un material de sílice fusionado (cuarzo) de alta calidad, que aporta una transmisión interna a esta longitud de onda a más de 99,5%. Estas ventanas pueden usarse también para otras aplicaciones exigentes en la región UV.
Parallelism < 10 arc sec
Surface finish 20/10 scratch/dig
Transmission > 99.5% at 193 (internal) nm
Usable range 180 nm…2000 nm
Inclusions Max 0.03 mm2/100 cm3 (class 0)
Isotropy 3D material
Homogenity Grade A
Flatness λ/4 at 632 nm
Paralelismo < 10 arc sec
Acabado de superficie 20/10 scratch/dig
Transmisión > 99,5% a 193 nm (interno)
Rango de uso 180 nm…2000 nm
Inclusiones Max 0,03 mm2/100 cm3 (clase 0)
Isotropía Material 3D
Homogeneidad Grado A
Llanura λ/4 a 632 nm
Sílice fusionado grado EUV

Flange View diameter Part number
40 CF 35 110-VPQZ-C40-EX
63 CF 68 110-VPQZ-C63-EX
Brida Diametro de vista Código de pieza
40 CF 35 110-VPQZ-C40-EX
63 CF 68 110-VPQZ-C63-EX
BBAR
Broad Band Anti-Reflection (BBAR) coated fused silica viewports
Sílice fusionado con recubrimiento BBAR
Parallelism < 10 arc sec
Surface finish 20/10 scratch/dig
Transmission > 99.5% at 193 nm (internal)
Reflectance See graphs, max. 2% in given range
Inclusions Max 0.03 mm2/100 cm3 (class 0)
Isotropy 3D material
Homogenity Grade A
Flatness λ/4 at 632 nm
Paralelismo < 10 arc sec
Acabado de superficie 20/10 scratch/dig
Transmisión > 99,5% a 193 nm (interno)
Reflectancia Ver gráficos
Inclusiones Max 0,03 mm2/100 cm3 (clase 0)
Isotropía Material 3D
Homogeneidad Grado A
Llanura λ/4 a 632 nm
Recubrimiento BBAR

225 nm - 450 nm
Flange View ∅ Part number
40 CF 35 110-QZ-UV-C40
63 CF 68 110-QZ-UV-C63
Brida ∅ de vista Código de pieza
40 CF 35 110-QZ-UV-C40
63 CF 68 110-QZ-UV-C63
425 nm - 760 nm
Flange View ∅ Part number
40 CF 35 110-QZ-VIS-C40
63 CF 68 110-QZ-VIS-C63
Brida ∅ de vista Código de pieza
40 CF 35 110-QZ-VIS-C40
63 CF 68 110-QZ-VIS-C63
550 nm - 1100 nm
Flange View ∅ Part number
40 CF 35 110-QZ-IR-C40
63 CF 68 110-QZ-IR-C63
Brida ∅ de vista Código de pieza
40 CF 35 110-QZ-IR-C40
63 CF 68 110-QZ-IR-C63
Non-mag
No mag
Non-magnetic viewports
Mirillas no magnéticos
Standard fuses silica viewports have very low magnetic permeability, as no Kovar or other magnetic materials are used. For very demanding applications, Allectra offers UV and DUV viewports with titanium sleeves, mounted in 316LN flanges, offering sizes 16 CF and 40 CF as standard.
Vacuum UHV, 10-10 mbar
Temperature -100º C to 200º C
Material Flange 316LN SS
Sleeve titanium
Window fused silica, UV/DUV
Ventanas estándar de sílice fusionado tienen una permeabilidad magnética muy baja, debido a que no se usa Kovar ni otros materiales magnéticos. Para aplicaciones muy exigentes, Allectra ofrece ventanas UV y DUV con mangas de titanio, integradis en bridas 316LN con tamaño estándar de 16 CF o 40 CF.
Vacío UHV, 10-10 mbar
Temperatura -100º C a 200º C
Material Brida 316LN SS
Manga de titanio
Sílice fusionado de ventana, UV/DUV

UV gradeGrado UV
Flange View diameter Part number
16 CF 16 110-QZ-NM-C16-UV
40 CF 40 110-QZ-NM-C40-UV
Brida Diametro de vista Código de pieza
16 CF 16 110-QZ-NM-C16-UV
40 CF 40 110-QZ-NM-C40-UV
DUV gradeGrado DUV
Flange View diameter Part number
16 CF 16 110-QZ-NM-C16-DUV
40 CF 40 110-QZ-NM-C40-DUV
Brida Diametro de vista Código de pieza
16 CF 16 110-QZ-NM-C16-DUV
40 CF 40 110-QZ-NM-C40-DUV
Quartz
Cuarzo
Crystal quartz viewports
Mirillas cuarzo cristalino
Optical quality crystalline quartz features high transmittance in ultraviolet, visible and infrared spectrum from 190 to 2900 nm, birefringence, ability to rotate plane polarised light, high damage threshold and resistance to scratching. Optical quality material is virtually bubble and inclusion free, grade A.
Vacuum UHV, 10-10 mbar
Temperature -100º C to 200º C
Orientation Z-Cut
Parallelism < 10 arc sec
Surface finish 20/10 scratch/dig
Flatness λ/2 at 623 nm
El cuarzo cristalino de calidad óptica tiene una alta transmitancia dentro del espectro ultravioleta, visible e infrarrojo, desde 190 a 2900 nm, birefringencia, la habilidad de rotar luz del plano polarizado, alto umbral de daños y resistencia a arañazos. wEl material de calidad óptica está prácticamente libre de burbujas e inclusiones, grado A.
Vacío UHV, 10-10 mbar
Temperatura -100º C a 200º C
Orientación Z-Cut
Paralelismo < 10 arc seg
Acabado de superficie 20/10 scratch/dig
Llanura λ/2 a 623nm

Flange View diameter Part number
40 CF 22.8 110-QZ-C40-CRYST
63 CF 48.2 110-QZ-C63-CRYST
100 CF 48.2 110-QZ-C100-CRYST
Brida Diametro de vista Código de pieza
40 CF 22,8 110-QZ-C40-CRYST
63 CF 48,2 110-QZ-C63-CRYST
100 CF 48,2 110-QZ-C100-CRYST
Fused silica is an isotropic material with no crystal orientation. It has an almost flat transmission curve from UV to near IR with more than 90% transmission in the visible range.
Three qualities are offered:
UV grade (200nm to 2 μm)
DUV grade (200nm to 2 μm - high purity) and
EXCIMER grade (185nm to 2.2 μm).
General specification
Vacuum UHV
Leak rate < 2x 10-10 mbar.l.s-1
Temperature -100º C…200º C
Transmission > 90% in visible range
UV-grade quartz is offered for use with KF flanges. Other fused silica grades are available on request. Please contact the sales office for a quote.
El sílice fusionado es un material isotrópico sin orientación cristal. Tiene una curva de transmisión casa plana desde UV hasta cerca de IR con una transmisión de más del 90% en el rango visible.
Se ofrecen tres cualidades:
Grado UV (200 nm to 2 μm)
Grado DUV (200 nm to 2 μm) y
Grado EXCIMER (185 nm to 2.2 μm).
Especificaciones generales
Vacío UHV
Tasa de fuga < 2x 10-10 mbar.l.s-1
Temperatura -100º C…200º C
Transmisión > 90% en rango visible
UV-grado cuarzo se ofrece para el uso con bridas KF. Otros grados de sílice fusionado están disponibles a petición del cliente. Contacte con la oficina de ventas para obtener un presupuesto.
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