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Detectores de gas

XP-703D - Leak detector for semiconductor manufacturing gases

XP-703D - Detector de fugas para gases "semiconductores"

KD-12- Detector ATEX
The XP-703D is a portable detector for the detection of: arsine, phosphine, diborane, silane and hydrogen. It is ideal for monitoring in semiconductor or solar-cell manufacturing conditions.
El XP-702 es más sensible que el líquido de detección de fugas para pequeñas fugas de gas. La mayoría de las versiones pueden usarse para hasta dos tipos de gases.
Applications
  • Clean rooms
  • Semiconductor manufacture
  • Solar-cell manufacture
Aplicaciones
  • Salas blancas
  • Manufacturar semiconductores
  • Manufacturar celdas solares
KD-12- Detector ATEX

Specifications

Especificaciones

Model XP703 D
Gas detected Semiconductor manufacturing gases
(arsine, phosphine, diborane, silane, etc.)
Detection principle Hot wire semiconductor
Gas

Minimum detectable leak rate (mbar.l.s-1)
Minimum detectable concentration (ppm)
Arsine
AsH3
1.0 x 10-6
0.2
Phosphine
PH3
1.5 x 10-6
0.3
Diborane
B2H6
0.5 x 10-6
0.1
Silane
SiH4
2.5 x 10-6
0.5
Hydrogen
H2
5 x 10-6
1.0
Response time 10 s or less
Detection indication Intermittent buzzer and flashing lamp
Operating temperature 0º C to 40º C,
Power source 4 x AA alkaline dry cells
Dimensions (W x H x D) Approx. 68 mm x 155 mm x 32 mm
Weight Approx. 400 g
Modelo XP703 D
Gas detectado Gases de manufactura de semiconductores
(arsina, fosfina, diborano, silano, etc)
Principio de detección Semiconductor Hot wire
Gas

Tasa de fuga mínima detectable (mbar.l.s-1)
Concentración mínima detectable (ppm)
Arsina
AsH3
1.0 x 10-6
0.2
Fosfina
PH3
1.5 x 10-6
0.3
Diborano
B2H6
0.5 x 10-6
0.1
Silano
SiH4
2.5 x 10-6
0.5
Hidrógeno
H2
5 x 10-6
1.0
Tiempo de respuesta 10 s o menos
Indicación de detección Zumbido intermitente y luz pulsante
Temperatura operativa 0ºC a 40ºC,
Fuente de potencia 4 x AA células alcalinas
Dimensiones (W x H x D) Approx. 68 mm x 155 mm x 32 mm
Peso Approx. 400 g
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