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Deposición en vacío

Thermal gas crackers

Crackers de gas termales

Thermal gas cracker from Mantis Deposition
The MGC-75 gas cracker uses a proprietary, capillary cracking tube to efficiently dissociate molecular gases at relatively low temperatures. Fitted on a standard 40 CF flange the source can be fitted to almost any vacuum chamber. It can be used with a variety of gases including hydrogen, oxygen, ammonia, chlorine, fluorine and other gases. Ideal for flow rates of 0 to 1 sccm, the catalytic cracking mechanism delivers above 90% cracking efficiency of diatomic hydrogen with only 75 W of power and less than 1000° C. The cracking mechanism delivers an ion free flux that eliminates substrate damage that occurs with other cracking methods.
Visit the Mantis Deposition site for more detailed information.
El cracker de gas MGC-75 usa un tubo propio de cracking capilar para disociar gases moleculares a temperaturas relativamente bajas. Integrado en una brida estándar 40 CF, la fuente puede integrarse en casi cualquier cámara de vacío. Puede usarse con una variedad de gases, incluyendo el hidrógeno, oxígeno, amoníaco, cloro. fluoro y otros gases. Ideal para tasas de flujo de 0 a 1 sccm, el mecanismo catalítico de cracking tiene una eficiencia del 90% del cracking de hidrógeno diatómico con solo 75W de potencia y menos de 1000º C. El mecanismo de cracking aporta un flujo libre de iones que elimina daños del sustrato que ocurren con otros métodos de cracking.
Visita el sitio web de Mantis Deposition para obtener información más detallada.
IntroductionIntroducción
IntroductionIntroducción
The MGC-75 gas cracker uses a proprietary, capillary cracking tube to efficiently dissociate molecular gases at relatively low temperatures. Fitted on a standard 40 CF flange the source can be fitted to almost any vacuum chamber. It can be used with a variety of gases including hydrogen, oxygen, ammonia, chlorine, fluorine and other gases. Ideal for flow rates of 0 to 1 sccm, the catalytic cracking mechanism delivers above 90% cracking efficiency of diatomic hydrogen with only 75 W of power and less than 1000° C. The cracking mechanism delivers an ion free flux that eliminates substrate damage that occurs with other cracking methods.
El cracker de gas MGC-75 usa un tubo propio de cracking capilar para disociar gases moleculares a temperaturas relativamente bajas. Integrado en una brida estándar 40 CF, la fuente puede integrarse en casi cualquier cámara de vacío. Puede usarse con una variedad de gases, incluyendo el hidrógeno, oxígeno, amoníaco, cloro. fluoro y otros gases. Ideal para tasas de flujo de 0 a 1 sccm, el mecanismo catalítico de cracking tiene una eficiencia del 90% del cracking de hidrógeno diatómico con solo 75W de potencia y menos de 1000º C. El mecanismo de cracking aporta un flujo libre de iones que elimina daños del sustrato que ocurren con otros métodos de cracking.
Applications
- Preparation for surface analysis
- Preparation before deposition
- Small sample MBE
- Nitridation
- Oxidation
Aplicaciones
- Preparación para análisis de superficies
- Preparación antes de deposición
- MBE de muestras pequeñas
- Nitridación
- Oxidación
Crackers de gas termales
Features
Características
Features
Características
The all metal seal design makes the MGC source fully bakeable to 250° C and UHV compatible.
The source is engineered with a user changeable filament and no brazed ceramics in the construction. This design is very robust and can be serviced in the field by the user. The high voltage bias of the gas cracking capillary is localised to the cracking zone to eliminate unintentional ionisation of excess gas.
El diseño de sellos totalmente metálicos hace que la fuente MGC sea calentable hasta 250º C y compatible con UHV.
La fuente está gestionada con filamentos reponibles por el cliente y sin cerámica soldada. El diseño es muy robusto y puede ser mantenido por el usuario. El bias de alta voltaje del capilar de agrietamiento gaseoso se localiza en la zona de cracking para eliminar ionización no deseada del exceso de gas.
Options
Opciones
Options
Opciones
Manual or Motor-Driven Shutters
The MGC source can be outfitted with an integrated shutter. The rotary shutter is configured with a magnetically coupled rotary feedthrough that ensures longevity and UHV compatibility. The shutter can be outfitted with either manual or motor actuated shutter.
Obturadores manuales o de motor
La fuente MGC puede equiparse con un obturador integrado. El obturador rotatorio está configurado con un pasamuros rotatorio acoplado magnéticamente que asegura una vida media larga y compatibilidad UHV. El obturador puede ser o manual o de motor.
Specifications
Especificaciones
Specifications
Especificaciones
Model MGC-75
Max. Power required for maximum cracking 75 W
Cracking Efficiency Up to 90% (hydrogen)
In-vacuum diameter 34 mm
Mounting Flange 40 CF
Standard In-vacuum Length 200 mm
Minimum Cooling Water (0.5 l/min)
Gas Flow (aperture and gas dependent) 0 - 1 sccm
Operating Gas Oxygen, hydrogen
Modelo MGC-75
Potencia máxima requerida para cracking máximo 75 W
Eficiencia de cracking Hasta 90% (Hidrógeno)
Diámetro en vacío 34 mm
Brida de montaje 40 CF
Longitud estándar en vacío 200 mm
Enfriamiento mínimo Water (0.5 l/min)
Flujo de gas (dependiente de gas y apertura) 0 - 1 sccm
Gas Operativo Oxígeno, hidrógeno
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High vacuum couplerAcoplamiento para alto vacío
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Angle valvesVálvulas de ángulo
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